杜邦抛光树脂在微电子超纯水系统中的应用
2025-02-24
超级管理员
在微电子行业中，水是制造半导体、平板显示器、光伏等器件的重要原料。超纯水 （UPW） 是生产过程中用来冲洗残留物的主要清洗溶剂。在制备超纯水的工艺设备中，杜邦树脂是目前领域中使用最为广泛的一个品牌，也是认可度最高的品牌之一。
1.可再生混床
混床脱盐可以在反渗透装置之后立即达到接近 UPW 的品质。DuPont™ AmberTec™ UP 级树脂的效率和高性能等级在半导体行业内享誉超过 25 年。其中的 UP 级 SAC 和 SBA 经过特别设计，旨在实现可再生混床系统的最高效率。这些树脂采用最先进的制造工艺，也适用于超纯水精处理混床系统，在启动时无需进行任何再生。树脂型号包含：UP1400H和UP4000 OH,UP650H和UP550 OH,UP252H和UP900OH.
2.最端精处理混床（包含回路精处理）
杜邦抛光树脂最终精处理混床在诸多领域发挥关键作用。为了满足对电阻率、金属和 TOC 的更高要求，选择合适的最终精处理混床树脂至关重要。一方面，它能深度去除水中极其微小的杂质颗粒，如残留的胶体、微生物碎片等，让水质达到18.2兆欧的超纯水级别，满足微电子芯片制造用水极高的纯净度要求，避免微小杂质影响产品质量与性能。另一方面，混床可精准吸附水中痕量的阴阳离子，降低水的电导率，保障水的化学稳定性，延长精密设备的使用寿命，确保生产流程稳定、高效运行。
行业 | 对应使用树脂型号 |
光伏 | AmberTec™ MR-3 LC H/OH |
AmberTec™ UP6150 H/OH |
显示面板 | AmberTec™ UP6150 H/OH |
AmberTec™ MR-300 UPW H/OH |
半导体 | AmberTec™ MR-450 UPW H/OH |
AmberTec™ UP6040 H/OH |
AmberTec™ UP6060 H/OH |
3. 硼选择性树脂（超纯水）
当进水中硼浓度较高或生产工艺对硼有严格要求时，需要使用脱 硼 树 脂。杜 邦 研 发 出 半 导 体 级 硼 选 择 性 树 脂（ BSR）AmberTec™ UP7530，具有 TOC 低、工作容量高、粒度均匀等特点，可用于 UPW 精处理回路。与目前广泛使用的半导体级
阴离子除硼工艺（ 如 AmberTec™ UP4000） 相比，AmberTec™UP7530 拥有更高的工作交换容量，从而简化了除硼系统的设计，并且可以实现更可靠的性能。
微电子工艺流程图（包含树脂所在工艺）
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